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位移傳感器用于精密減振平臺(tái)設(shè)計(jì)
振動(dòng)控制是振動(dòng)工程領(lǐng)域內(nèi)的一個(gè)重要分支。抑制振動(dòng)的方法主要有：消振、隔振、吸振、阻振或者改變系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。消振和改變系統(tǒng)結(jié)構(gòu)在很多情況下無法辦到，常用的振動(dòng)控制方法是隔振、吸振、阻振。為了保證光學(xué)精密儀器工作基礎(chǔ)的穩(wěn)定性，需要減小或者消除振動(dòng)對(duì)設(shè)備的影響。
精密減振平臺(tái)以高精度位移傳感器為測(cè)量單元，通過位移傳感器測(cè)量減振平臺(tái)支撐彈簧的長度變化，然后把輸出的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，再把數(shù)字信號(hào)送到DSP進(jìn)行計(jì)算，計(jì)算結(jié)果轉(zhuǎn)換成電流送給電磁驅(qū)動(dòng)器，自動(dòng)調(diào)整電磁驅(qū)動(dòng)器的電磁力，使光學(xué)精密儀器受力平衡，達(dá)到減振的目的。
精密減振平臺(tái)為主動(dòng)控制減振設(shè)計(jì)。整個(gè)平臺(tái)可以看做由：傳感單元、控制單元與執(zhí)行單元組成的閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)。傳感單元主要完成振動(dòng)信號(hào)的采集，并將采集信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，輸入控制單元實(shí)時(shí)計(jì)算出執(zhí)行單元的輸出量。位移傳感器對(duì)系統(tǒng)低頻振動(dòng)與超低頻振動(dòng)的測(cè)量性能優(yōu)于速度傳感器和加速度傳感器，測(cè)量精度與環(huán)境適應(yīng)性較好，可以很好滿足減振平臺(tái)的測(cè)量需求。
位移傳感器和電磁驅(qū)動(dòng)器的聯(lián)合應(yīng)用，大幅改善了減振平臺(tái)的減振效果。由于各級(jí)減振系統(tǒng)之間是相互獨(dú)立的，更有利于多級(jí)減振，只需要考慮振動(dòng)平臺(tái)的振幅，不需要考慮被隔振物體的振動(dòng)情況。因?yàn)閿?shù)據(jù)采集，傳輸，運(yùn)算，再到電磁驅(qū)動(dòng)器電流調(diào)整，設(shè)計(jì)中的延時(shí)可造成電磁力的大小與彈簧的彈力變化并不相等，因此精密減振平臺(tái)只能使振動(dòng)衰減，并不能達(dá)到消振的效果。
隨著傳感器技術(shù)與測(cè)控技術(shù)的飛速發(fā)展，各種新型傳感器、微型傳感器快速投入市場(chǎng)，并大量應(yīng)用于各類測(cè)控系統(tǒng)。高精度位移傳感器的應(yīng)用更是提升了減振平臺(tái)的減振性能，使其逐漸具備更好的應(yīng)用價(jià)值和市場(chǎng)前景。
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